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고정자산 관리번호

NFEC-2010-12-118452

모델명

MDA-12000

장비명

Flexible 기판 대면적 패턴노광장비

영문명

Mask aligner

공급사

(주)마이다스시스템

취득금액

95,000,000

취득일자

2008-11-04

취득방법

입찰

사용용도

노광 및 얼라인 시스템

주요사양특징

Process : mask align & exposure
Sample size : 200 x 200mm2

키워드

infranet 검색 키워드

사진 첨부

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