디스플레이나노소재연구소
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장비구축
개요 주요실적


 

번호
장비명
모델명
사용용도
10
다층 스퍼터링 시스...
제작장비
◦ Dual gun을 사용하여 SIO...
9
고온 엑스선회절분석...
D8-DISCOVE...
X-Ray를 발생 시키는 X선 발생장...
8
전계방사형주사현미경
S-4800
생물,시료,박막,금속,반도체 표면 등...
7
전극용 진공증착 S...
Vacuum Cha...
◦ 금속, 무기물 및 유기물 재료를 ...
6
무기물 증착장비
VPC 06SN05
◦ 형광체, 유전체 등 산화물 박막 ...
5
급속 열처리장치
6'' RTP
LTPS 기판 처리 등
4
컬러필터용 밀베이스...
Minicer
컬러필터용 밀베이스 제조
3
입체표면형상측정기
Nano View ...
1. TFT-LCD, BLU, PDP...
2
박막두께측정기
Dektak150
유무기 박막두께 측정
1
굴절율 측정기
Elli-SE-U
유전체, 반도체, OLED 등의 투명...

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