디스플레이나노소재연구소
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장비소개 크린룸 환경기준
구분
CLASS (EA/ft3)
온도 (℃)
습도 (%)
조도 (LUX)
면적 (㎡)
YELLOW ROOM
1,000
22±1
20±10
>1000
50

크린룸 사양
ROOM
245㎡ (7 span)
공조기
냉난방 , 가습기
Gas
GN2 , PN2 , Ar , O2 , H2
ect
CDA , DI , PCW , Drain , Exhaust enhanced


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