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주요실적

고정자산 관리번호

모델명

6'' RTP

장비명

급속 열처리장치

영문명

RTP

공급사

(주)알파플러스

취득금액

83,600,000

취득일자

2007-03-28

취득방법

입찰

사용용도

LTPS 기판 처리 등

주요사양특징

Process : rapid thermal process
Substrate size : 2" , 4" , 6" wafer
Max. annealing temp & time : 850℃ ,60sec
Temperature ramp up speed : 1 ~ 150℃/sec
Cooling time : <15min, ~ <100℃

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