◦ 금속, 무기물 및 유기물 재료를 증착하여 다층박막을 형 성시킬 수 있는 기판용 진공 증착 장비 ◦무기물 및 유기물 재료를 이용하여 다층박막을 형성 ◦ AOD(all organic display)구현 ◦ flexible 기판의 수분(H2O) 및 산소(O2) 등 기체차단막 증착 ◦ 투명전극막 증착
주요사양특징
In-line crystalized ITO sputter Target size : 93 x 433mm2 x 4T Power : DC, RF Substrate size : 200 x 200mm2 Glow discharge pre-treatment In-situ IR heating treatment