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고정자산 관리번호
NFEC-2007-10-003181
모델명
모델명 없음
장비명
Passivation용 유무기 증착장비
영문명
Organic/Inorganic film deposition system for passivation
공급사
Sunic system
취득금액
423,000,000
취득일자
2006-12-26
취득방법
입찰
사용용도
OLED 소자 박막 passivation용 저분자 유기물 열증착용 고분자 유기물 코팅용 무기유전박막 증착용
주요사양특징
1.Substrate : 200mm±0.2mmX200mm±0.2mm glass (t : 0.55~1.1mm±0.02mm)
2.Evaporation Temperature 20 ~ 500℃ Volume 10cc or 4 cc Host 10cc 4ea Dopant 4cc 4ea Crucible mat’l Al2O3
3. Auto aligner Accuracy ≤± 5㎛ X-Y-Θ Key to key
4. Thickness controller Cygnus INFICON
5. Ultimate pressure ≤ 2.0×10E-7 torr
6. Substrate rotation 0~20rpm
7. Film thickness uniformity ≤±5% etc.
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