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장비구축
개요 주요실적


고정자산 관리번호
NFEC-2007-12-051022
모델명
Sunicel200OTFT/MC/LL
장비명
Flexible TFT 제조장비
영문명
Flexible TFT Fabrication System
공급사
(주)선익시스템
취득금액
588,000,000
취득일자
2007-09-27
취득방법
입찰
사용용도
유기반도체 재료 물질의 박막 증착, 반도체용 금속
박막 증착 등
주요사양특징
Cryopump 2000도시 고온셀 증착 저분자 유기물 진공
증착 200*200 mm2 glass substrate 지원
키워드
infranet 검색 키워드
사진 첨부
장비사진

 
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