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고정자산 관리번호
NFEC-2010-12-129008
모델명
GMS_CD200-01 System
장비명
Flexible기판포토공정코팅현상장비
영문명
Spin coater & Spin drier
공급사
(주)젠시스
취득금액
74,000,000
취득일자
2008-10-09
취득방법
입찰
사용용도
Glass 또는 Wafer 코팅 및 패턴형성
주요사양특징
Process : PR coating(glass)
Substrate size : 200 x 200mm2
Substrate thickness : 0.35 ~ 1mm2
Speed of revolution : Max. 3,000 RPM
Auto dispensing
Substrate size : 200 x 200mm2
Substrate thickness : 0.35 ~ 1mm2
Speed of revolution : Max. 3,000 RPM
Auto dispensing
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