디스플레이나노소재연구소
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개요 주요실적


고정자산 관리번호
모델명
Nano View NV-E1000
장비명
입체표면형상측정기
영문명
3D Optical Analyzer
공급사
㈜Nano system
취득금액
80,000,000
취득일자
2006-09-15
취득방법
입찰
사용용도
1. TFT-LCD, BLU, PDP, OLED 등 평판표시소자 제작공정 중 표면 미세 형상 및 거칠기 측정, 디스플레이 박막의 단차 및 표면형상 측정 등
2. 유.무기 박막에 대한 표면형상 분석
3. 비접촉식으로 측정 간편, Data Storage 가능
주요사양특징
Method : Nanoview
Measurement : surface structure, thin film thickness
Accuracy : 0.5nm
Measurement speed : 2 ~ 5μm/sec
키워드
infranet 검색 키워드
사진 첨부
장비사진