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고정자산 관리번호
NFEC-2010-12-118452
모델명
MDA-12000
장비명
Flexible 기판 대면적 패턴노광장비
영문명
Mask aligner
공급사
(주)마이다스시스템
취득금액
95,000,000
취득일자
2008-11-04
취득방법
입찰
사용용도
노광 및 얼라인 시스템
주요사양특징
Process : mask align & exposure
Sample size : 200 x 200mm2
키워드
infranet 검색 키워드
사진 첨부