1. 진공
- 고진공 펌퍼 : Cryo 방식
- 도달진공이 5×10-7 torr 이하 유지
- 기존 클러스터 시스템과 기판 및 연결 호환성 유지
2. 유기재료용 증착원 : 셀구조 열증착방식 (온도센서가 장착된 구조)
- 개수 : 2 set, (셀 및 전원공급기, 셔터, 증착제어장치 포함)
- 가열 범위 : 진공에서 상온 ~ 400℃
- crucible : 용량 10cc, 알루미나 재질
- 두께 측정 센서 및 신호변환기, 제어기
3. 범용 중온 증착원 : 셀구조 열증착방식 (온도센서가 장착된 구조)
- 개수 : 2 set, (셀 및 전원공급기, 셔터, 증착제어장치 포함)
- 가열 범위 : 진공에서 상온 ~ 800℃
- crucible : 용량 10cc, 알루미나 재질
- 두께 측정 센서 및 신호변환기, 제어기
4. 중온 증착원 : 셀구조 열증착방식 (온도센서가 장착된 구조)
- 개수 : 2 set, (셀 및 전원공급기, 셔터, 증착제어장치 포함)
- 가열 범위 : 진공에서 상온 ~ 1600℃ 이상
- crucible : 용량 10cc, PBN 재질
- 두께 측정 센서 및 신호변환기, 제어기
5. 증착 제어기
- 두께 제어기 : INFICON사 Cygnus 모델의 센서제어기 확장
- 설치되는 6개 증착원들 중 2종, 3종의 공증착(co-deposition) 가능해야 함.
6. 소프트웨어
- 기 설치된 클러스터 시스템의 소프트웨어 및 시스템 제어 플랫폼이 연동되어야 함.
(기존 클러스터 공정 시스템모델 : SUNICEL plus 200)
- 공정 호환성 : 기존 공정 Recipe로 시스템의 타 공정과 연동되어야 함, 필요시 기존 장치들의 설정치들 업그레이드.
- 기록의 호환성 : 공정순서를 제어하는 Recipe와 각 공정결과 기록 Datalogging 업그레이드.
- 기록의 호환성 : 공정순서를 제어하는 Recipe와 각 공정결과 기록 Datalogging 업그레이드.
7. 유틸리티
- 클러스터 시스템의 유틸리티를 공유하도록 함.
- 업그레이드와 관련 필요한 MFC 및 제어기, 가스라인, 스위치, 냉각라인 등의 유틸리티의 부품들 포함
- 장치 설치와 관련한 작업이 기존 장비의 성능에 영향을 저하시키지 않음
8. 증착막의 특성
- 200mm × 200mm 기판상에 증착막의 박막 두께 균일도가 기판 내에서 ±3%이내
- 기판과 기판간의 연속공정을 할 경우에는 ±5% 이내