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고정자산 관리번호
NFEC-2007-10-009925
모델명
진공 증착기
장비명
아이티오 코팅 연속 롤 코터
영문명
Roll to roll sputtering system
공급사
피엔텍
취득금액
216,000,000
취득일자
2006-04-06
취득방법
입찰
사용용도
Flexible 기판 롤 공정
주요사양특징
Square target Roll to roll sputter
Target size : ITO, SiO2, Ag etc., 2 cathodes
Power : DC, RF, MF
Gas : Ar, O2, N2
Deposition width : 170mm
Target size : ITO, SiO2, Ag etc., 2 cathodes
Power : DC, RF, MF
Gas : Ar, O2, N2
Deposition width : 170mm
키워드
infranet 검색 키워드
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